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采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器
MEMS振荡器商用化的一个最大障碍是开发一种经济并足够纯净的密闭封装系统。本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺，以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。这些测量数据是目前为止得到的最稳定的MEMS振荡器数据。
2008-10-09
纯净 振荡 频率 稳定
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固态混合电势气体传感器的原理和应用
以混合电势响应为基础的固态高温气体传感器为各种还原性气体提供了一种简单快速并且低成本的原位在线测量。这些传感器响应机理因电极材料、电极微观形貌等不同而有所变化，主要分为混合电势与被测气体浓度呈对数关系或者线性关系两种类型。其响应行为取决于电极反应的Butler-Volmer动力学方程的具体...
2008-10-09
混合电势 氧化 还原 传感器
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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。本文研制了一种高性能、低成本的微型电容气象压力传感器，整个流程工艺简单标准，薄膜材料选择单晶硅，采用接触式结构，利用阳极键合形成真空腔，最后由KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜并由试验结...
2008-10-09
电容式压力传感器 敏感薄膜 KOH腐蚀
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表面横波生物传感器的灵敏度分析
近年来在生物检测研究方面，声表面波传感器因具有体积小、重量轻、性能稳定、价格便宜等优点受到广泛关注。本文将推导灵敏度、加工等方面对表面横波传感器灵敏度的影响，并进行相关分析。
2008-10-09
表面横波传感器 栅阵 生物检测
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MEMS固态风速风向传感器的设计与制作
本文介绍了基于MEMS的固态风速风向传感器的设计原理及软件模拟结果，并依据理论与模拟结果设计了工艺流程，对设计的悬梁式测风传感器进行了测量。
2008-10-08
MEMS固态风速风向传感器 ANSYS CFD 工艺制作
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4G CMOS成像器提高安全性能
CMOS成像更新换代越来越快，目前正开始经历第四代。本文描述了CMOS成像器在汽车市场的用途、4G CMOS成像器的安全性能及其在汽车方面的潜在市场。
2008-10-08
CMOS成像 CCD 车用市场
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汽车电子如何推动无源器件发展
随着汽车电子化、信息化的深入，以MCU为代表的有源器件在汽车上的应用日益增多，不过同时，汽车上应用的无源器件也在增加，以传感器为例，“1980年汽车中传感器的数量平均为20个，预计到2010年汽车中传感器的平均数量将增加到150个。”这是村田制作所株式会社事业部长宫崎二郎在村田汽车研讨会上透露...
2008-10-06
汽车电子 无源器件 电容器 传感器 电阻 电感
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基于热释电传感器p7187的人体测温仪的设计
热释电红外探测器是由热释电红外传感器、菲涅耳透镜及电子电路组成的一种光电检测装置。它能无接触地检测人体运动时辐射出的红外线并转换成电信号输出。本文介绍了一种用于快速测量人体体温的p7187热释电传感器的原理及其基本设计电路。
2008-10-05
热释电红外传感器 p7187 人体表面温度
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基于集成压力传感器的无源胎压监控系统研究
近代如何防止爆胎已成为安全驾驶的一个重要课题，保持标准的车胎气压和及时发现车胎漏气是防止爆胎的关键，而汽车轮胎压力监视系统将是预防爆胎的理想工具。本文描述了胎压监控的基本原理，给出无源TPMS磁场电磁耦合和直接胎压监控系统设计与分析方案，在分析了轮胎压力监摔系统的原理及各种不同解...
2008-10-05
胎压监控 直接系统 间接系统 电感耦合
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