2012高端精密电子束镀亮相高工LED展

据大和热磁相关负责人介绍，TFC3500采用世界广泛使用的电子枪(Temescal)，高压电源(Ferrotec 德国)，低温泵(美国CTI) 以及进口干泵、真空规、晶震膜厚控制器、电子束扫描器、闸板阀、磁流体密封轴承、电子线路元器件等。

其蛋壳型不锈刚主腔体在保证大装片量的同时，有效地缩短了排气时间。可滑动电器柜和可升降电子枪底盘减少了占地空间方便了使用和维护，整体结构紧凑，节能，占地面积小。

同时，在信息化时代，TFC3500可以通过电脑软件和操作系统对复杂的镀膜工艺过程进行安全可靠的全自动控制和数据记录。同时配备有LED行业需要的基片高温红外加热器，反应气体流量控制器，可控低温泵闸板阀等等。

谈到未来的发展，杨东红表示，Ferrotec(中国)未来将致力于降低生产成本，增加供应量，继续以技术创新为动力，不断研制开发具有国际水准，又适合于中国市场需求的高科技镀膜机，以便更好的满足和适应中国未来LED行业的发展需求。

经过20年快速发展，Ferrotec(中国)员工从9人到5000人，厂房面积从500平米到23.6万平米，投资总额从1.5亿日元到200亿日元，销 售额从原始38万元人民币到45亿元人民币。已发展成以半导体、太阳能及功能材料为主导的三大主业为中心，集研发、制造和服务为一体的多元化企业集团和有 多元化技术的跨国集团。并在半导体、太阳能光伏、精密机械高端领域树立了良好的业界形象。

在即将开幕的2012高工LED展上，大和热磁将首次推出其最新研制的高端精密电子束蒸发镀膜机TFC3500。“这是为LED制造业和其他工业领域专门研发的，凭借着美国Ferrotec Temescal 六十年悠久的历史和经验，以及在电子枪和镀膜机制造方面的多项专利技术，同时吸收了美国、德国、日本等国内外的最新工艺”杨东红说。”杭州大和热磁电子有限公司(以下简称“大和热磁”)真空技术事业部的杨东红在接受《高工LED》记者采访时既兴奋又无奈地表示，由于全球经济持续低迷，已经影响到半导体和通信行业，虽然上半年大和热磁的整体销售额保持了一定增长，但增长速度与往年相比稍有放缓。

杨东红指出，与传统的镀膜机结构设计不同，TFC3500的真空室和蒸发距离可以按用户需要加长，从而满足在6英寸或更大尺寸基片上的镀膜要求，适合50mm~150mm晶圆ITO膜制成工艺。

今年上半年，全球都面临着严峻的经济疲软考验，尤其是新兴产业。但杨东红认为：“LED行业作为国家重点鼓励发展和支持的新兴产业，在下半年依然会有更多有活力的企业，投入新的生产线推动扩产项目，预计公司今年整体销售情况不会如想象的那么悲观。”