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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。本文研制了一种高性能、低成本的微型电容气象压力传感器,整个流程工艺简单标准,薄膜材料选择单晶硅,采用接触式结构,利用阳极键合形成真空腔,最后由KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜并由试验结果表明,该传感器适用于气象压力测量。
2008-10-09
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基于集成压力传感器的无源胎压监控系统研究
近代如何防止爆胎已成为安全驾驶的一个重要课题,保持标准的车胎气压和及时发现车胎漏气是防止爆胎的关键,而汽车轮胎压力监视系统将是预防爆胎的理想工具。本文描述了胎压监控的基本原理,给出无源TPMS磁场电磁耦合和直接胎压监控系统设计与分析方案,在分析了轮胎压力监摔系统的原理及各种不同解决方案的基础上,设计了一种新型的轮胎压力监控系统解决方案。并根据TPMS的要求,设计制作了一种压力温度集成传感器。
2008-10-05
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Epson Toyocom开发出高性能的水晶绝对压力传感器
Epson Toyocom公司开发出小型,高性能的水晶压力传感器,采用独创的QMEMS技术制造出的压力传感结构,以此开发出具有±10帕(约一万分之一气压)的高精度与0.1帕的高分辨能力的高性能且体积为12.5ml、重量为15g的小型水晶绝对压力传感器。
2008-09-24
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HSPP系列:ALPS开发了绝对压检测用压敏电阻式MEMS压力传感器
ALPS开发了用于检测气压或者高度的HSPP系列压敏电阻式MEMS压力传感器(绝对压检测用),该产超小压力传感器样品将从今年的10月起开始出售。
2008-09-18
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压力传感器原理及应用
力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控……
1970-01-01
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