【导读】随着碳化硅器件向更高电压、更大芯片尺寸方向迭代，晶圆材料品质与批次一致性，已经成为制约器件量产良率与产品性能的核心关键。针对行业高阶制造需求，今日宣布其全新 Premium 高端 200 mm n-型碳化硅（SiC）衬底正式商业化供货，进一步扩展公司 200 mm 碳化硅（SiC）材料产品组合。新品依托升级的基材工艺，大幅优化晶圆缺陷、微管密度与片形稳定性，能够适配高端碳化硅器件的严苛制造标准，帮助厂商提升设计成功率、缩短产品认证周期，为碳化硅产业高品质规模化生产筑牢材料基础。

随着碳化硅（SiC）器件产业朝着更高电压和更大裸芯片尺寸推进，材料级质量和晶圆一致性已成为关键差异化要素。Wolfspeed 的 Premium 高端 200 mm n-型碳化硅（SiC）衬底在缺陷密度、微管数量和晶圆片形稳定性等多项指标上实现了质量飞跃。

通过消除起始基材中的波动因素，Wolfspeed 的 Premium 高端材料为碳化硅（SiC）器件制造商提供了一种可预测更强、良率更高的起始基材，提高了首次设计成功的概率，缩短产品认证周期，这在当前行业容错空间不断收窄的背景下尤为重要。

Wolfspeed 材料事业部执行副总裁 Cengiz Balkas 博士表示：“Wolfspeed 在推进碳化硅（SiC）材料技术发展方面处于领先地位，我们 200 mm 产品组合中的这一最新产品正是我们技术实力的体现。我们正在为客户提供更坚实的基础，以开发要求日益严苛的碳化硅（SiC）器件，并依托我们的制造经验和规模，在客户需求增长时提供重要支持。”

Wolfspeed 的 Premium 高端 200 mm n-型碳化硅（SiC）衬底经过行业标准方法的 X 射线形貌检测验证，微管密度低于每平方厘米 0.01 个，即每片晶圆少于三个微管，同时具有较低的贯穿螺型位错密度。结合 Wolfspeed 久经验证的晶圆片形和批次间一致性，更高的裸晶圆质量可直接转化为更优的外延性能，并且完全可在客户现有的外延工艺中实现。

依托成熟的制造工艺和深厚的材料技术沉淀，Wolfspeed 的 Premium 高端材料可实现更高的整批次良率和更优的制造成本效益。该产品现已开放订购，并且拥有专属产能保障和清晰的产品扩展路线图。依托公司现有的大规模碳化硅（SiC）制造基地，Wolfspeed 具备充足的制造信心与能力，可随市场需求增长快速扩充新产能。

Wolfspeed 的 200 mm 制造运营自 2022 年以来持续投产，历经了四年多的工艺精进和良率提升，为客户建立了成熟、可靠的供应基础。

结论

本次全新Premium高端200mm碳化硅衬底的落地商用，是Wolfspeed在碳化硅材料领域技术迭代的重要成果。相较于传统产品，新品从源头优化基材品质，有效降低微管密度与位错缺陷，凭借优异的晶圆一致性与稳定的片形表现，显著提升外延工艺效果，可直接适配客户现有生产流程，无需额外改造产线。