- 功率元件用SiC底板品质不断提高，价格也在不断下降
- SiC底板纷纷亮相研究会
- 4英寸底板已不再特殊
功率元件用SiC底板不仅品质不断提高，价格也在不断下降。虽然从事SiC功率元件的厂商增多带来了需求扩大，但降价的主要原因在于提供好品质底板的厂商增多，“开始出现价格竞争”（多家底板厂商）。据某家底板厂商介绍，虽然价格根据结晶缺陷密度等品质而有所不同，但“直径为3英寸（75mm）的产品在大量购买时价格已经只有7万日元左右。而去年还约为10万日元”。也就是说，价格在以每年30％左右的幅度下降。
还有多家厂商在销售“外延底板”，这种底板上不仅层叠有SiC底板，还层叠有外延层。日本国内的主要外延底板厂商是昭和电工。该公司已经上市4英寸外延底板。该公司是从其他公司采购SiC底板，层叠上外延层后销售。
外延底板的价格方面，“外延层的厚度为10μm左右，价格是3英寸底板的大约2倍”（多家外延底板厂商）。
SiC底板纷纷亮相研究会
在此背景下，与2009年12月17～18日举行的“第18届SiC及宽带隙半导体研究会”同时举办的展会上，有多家企业展出了SiC底板（4H型）和外延底板。
东丽道康宁自信地表示“品质不亚于顶尖厂商（美国科瑞）”（解说员）（图1、2）。该公司同时还在销售美国道康宁的SiC底板（参阅本站报道）。3英寸的4H型SiC底板保证微管密度不超过3个/cm2。“实际上为大约0.2个/cm2”（该解说员）。2009年5月以后，通过大幅改善制造工艺底板品质得到了提高。除去微管，错位等缺陷的密度在5000～7000个/cm2左右。底板表面上的结晶缺陷占整个底板的5～15％。
除3英寸底板外，东丽道康宁还提供3英寸的外延底板。4英寸底板定于2010年1月、4英寸的外延底板定于7～9月销售。而有关6英寸底板的销售目标则是2011年供应样品。
4英寸底板已不再特殊
SiC底板的大口径化也在稳步推进，目前已有多家厂商在提供4英寸底板。此次展会的参展企业有诸如代表美国II-VI参展的II-VI日本法人公司和德国SiCrystal等（图3）。II-VI日本展出了微管密度标准为1.3个/cm2、优质品为0个的“无微管”4H型SiC底板。微管除外的错位等缺陷密度低于1万个/cm2。
虽然尚无销售计划，但直径5英寸的底板已经开发完成。今后将进一步增大直径，目标是2012年左右销售6英寸直径的产品。另外，II-VI日本今后将进一步扩大业务。“力争到2014～2015年左右，销量达到现在的9倍”（II-VI日本的解说员）。另外，该公司表示没有涉足外延底板的计划。
德国SiCrystal的最大股东进入2009年以后变成了罗姆。但SiCrystal底板的销售跟以前一样，仍不仅限于罗姆。会场上，该公司的日本销售代理店（Ceramic Forum）展出了4英寸底板等（图4、5）。3英寸和4英寸底板的高端产品中微管密度保证低于3个/cm2。
此外，作为销售代理，日本New Metals & Chemicals还展出了北京天科合达蓝光半导体制造的SiC底板。
图1：东丽道康宁展出的SiC底板 图2：东丽道康宁的展板 图3：美国II-VI的SiC底板
右为功率元件用4H型，左为高频元件用6H型
图4：SiCrystal的4英寸底板 图5：Ceramic Forum的展板
