产品特性：

• 传感器元件采用PSM-X2微机电系统工艺制造
• 采用双腔技术制造

应用范围：

• 可作为独立元件使用
• 也可与三轴加速计进行整合

微型和无线半导体产品制造商和供应商SensorDynamics今天宣布推出双轴和三轴陀螺仪。获得专利的传感器元件采用公认的PSM-X2微机电系统（MEMS）工艺制造。自2010年1月起，该工艺可用于8英寸晶圆。这些陀螺仪可作为独立元件使用，也可以与三轴加速计进行整合，在价格、可靠性和微型化方面都开创了广阔的前景。

SensorDynamics将于2010年5月开始供应双轴和三轴MEMS陀螺仪，作为独立产品用于工业、自动化工程、医学、导航以及高端消费领域的应用。现已计划开发一种经AEC-Q100认证的汽车用陀螺仪，运行温度范围为-40°C至+125°C。

新型三轴陀螺仪采用SensorDynamics获得专利的双腔技术制造，接下来即将与三轴加速计进行整合，在数平方毫米的芯片上创造一种六自由度的全面惯性测量装置(6DoF IMU)。面向消费领域的适当产品预计将于未来三个月内面市。

这些多轴陀螺仪已经为批量生产做好了准备，其特征与SD75x、SD70x和SD77x/78x系列单轴产品的特征相同，不过相比之下，更高密度的整合意味着重要的成本优势。