针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用，供应商Edwards集团有限公司推出了全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类最佳的性能和拥有成本。由于在应用材料公司的多类新设备平台上取得了使用认证，并已向主要半导体制造商提供超过180套系统，该泵的先进设计已获得初步成功。

 

Edwards公司销售总经理马克?格林（Mark Greene）评论说：“我们非常努力地工作，达到并超越应用材料公司对新一代泵的要求。IPUP2先进的设计减少抽真空时间50%左右，能耗节约70%，在大修间隔期免维护。很多半导体制造厂商，甚至那些与我们竞争对手长期合作的制造厂商， 很快通过这些订单认识到了IPUP2的抽气能力和拥有成本优势。“

真空泵IPUP2的优点 
 

IPUP2是为满足应用材料公司的加载互锁和输送腔体抽真空规格而设计。IPUP2采用的精密轴承确保运行平稳、低震动，机油润滑的轴承和定时齿轮使得大修之间无需常规维护。该泵抽气速率和功率曲线得到了优化，以增加机台产出能力，最大抽速可达180 m3/h，与第一代相比快89%，抽真空时间缩短54%，同时能耗节约70% （使用“绿色模式”还可进一步节能）。IPUP2包括水平和垂直进气口，其尺寸和配置能够与前一代泵直接互换。在测试中该泵得分很高，平均故障间隔（Semi E10标准的MTBF)为5年，可实现超过300万次加载互锁工作循环。现在IPUP2可见于应用材料公司的机台或直接由Edwards获取。

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