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ACT2100系列:卓锐微新型MEMS加速度传感器

发布时间:2009-08-03

产品特性:

  • 提供±3g量程
  • 噪声本底小于2ugsqrt(Hz)
  • 工作带宽大于900Hz
  • 差分输出范围为±4V,可驱动长达150米电缆

应用范围:

  • 地震勘探和钻探、惯性导航和制导
  • 振动测量、倾斜测量等工业领域

日前,北京卓锐微技术有限公司(Acuti Microsystems Co., Ltd.)推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制造,并基于卓锐微技术第二代Cery2000高精度MEMS加速度传感器专用接口芯片进行信号调理。其应用领域包括地震勘探和钻探、惯性导航和制导、振动测量、倾斜测量等工业领域。在地震勘探领域中,通过使用加速度传感器来替换传统的速度传感器,可以在低频和高频获得更好的信噪比,从而有效提升成像质量。

由于采用创新的设计理念以及MEMS-ASIC一体化设计方法,卓锐微技术的ACT2100-3加速度传感器在提供±3g量程的同时,噪声本底小于2ugsqrt(Hz),工作带宽大于900Hz。其ACT2100-50系列更是拥有高达114dB的信噪比(100Hz带宽)和3KHz的工作带宽。目前卓锐微技术正在完善ACT2100系列的其它产品线,预计在2009年第四季度覆盖包括3g10g50g100g400g等不同量程范围。

ACT2100系列采用5V标准电压供电,典型功耗为10mA,其差分输出范围为±4V,可驱动长达150米电缆。LCC48的封装使得ACT2100系列在承受机械冲击以及环境温度变化时保证良好的真空密封性。小型化封装使得ACT2100可在空间体积重量受限的应用中实现高精度的加速度信号检测。
 

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