产品特性：

• 是一系列非接触电容式间隙和平行度传感器系统 
• 涂布机间隙一致性优于0.25um，在整个涂布模长度范围内间隙小到110um
• 测量工艺过程中CVD涂镀头和金属载体辊筒间的间距，温度可达600°C

适用范围：

• 太阳能面板市场
• 硅层上CVD法沉积薄膜的过程中，以及处理额外层和玻璃面板与反射背板间光伏组件的密封

Capacitec Inc. (马萨诸塞州Ayer) 首次面向太阳能面板市场推出了一系列非接触电容式间隙和平行度传感器系统。这些系统测量太阳能面板生产过程中液体、抗反射涂层和CVD（化学气相沉积）层涂镀头到媒介间的精确距离，能帮助制造商保持薄膜镀层一致性，提高成品率和效率。

Capacitec是太阳能市场的新进者，该公司在为半导体制造设备提供测量技术和为OEM及终端用户设计狭缝口模涂布机的窄隙测量系统上拥有超过15年的经验。借助其在液体涂布市场的产品，Capacitec开发了这些系统，获得涂布机间隙一致性优于0.25um，在整个涂布模长度范围内间隙小到110um。

在薄膜光伏面板制造中，Capacitec的系统用于在硅层上CVD法沉积薄膜的过程中，以及处理额外层和玻璃面板与反射背板间光伏组件的密封。

在柔性太阳能面板中，CVD涂布机用于透明导电氧化物（TCO）的生产中。平行度传感器系统用来测量工艺过程中CVD涂镀头和金属载体辊筒间的间距，温度可达600°C。