- 压力传感器行业加快了压阻式替代步伐
- MEMS技术逐步成为产业化技术主流
随着测量技术的飞速发展，对传感器提出了更高的要求，尤其在高精度的流体动力学测试中，要求传感器具有良好的动态特性。为了不影响流场状态，提高测量的精度，还需压力传感器具有极小和极薄的外形，传感器的尺寸渐趋小型化。近二十年来，压力传感器行业明显加快了压阻式替代淘汰应变式、厚膜陶瓷式压力传感器的步伐，MEMS（Micro electronic mechanical systems微机电系统）技术逐步成为产业化技术主流。
受自身技术条件限制， 国内大多数压力传感器企业多把国内外产硅MEMS OEM产品作为压力传感器的关键部件，组装后再行销售，进入行业的门槛较低，资金运转快。但对有高难度要求的高档传感器，企业既买不到相应的硅MEMS OEM产品，又不具备相应设计与特殊制作技术，因此基本无法进入这一细分市场。昆山双桥传感器测控技术有限公司充分利用其技术积累，从核心元件关键技术做起，基于MEMS微机械加工技术，自行研制的微型动态压阻压力传感器能确保力敏硅膜片有效尺寸更小，固有频率更高；此外，利用硅优良的弹性力学特性，尤其是极高的杨氏弹性模量，加之低的电桥内阻抗，不仅利于获得高频响，而且有低至亚微秒的上升时间及非常干净的幅频特性曲线，可广泛应用于要求传感器尺寸小、对测试流场影响小、动态特性好的空气动力学研究、风洞测控试验等高端应用领域。微型压力传感器产品在双桥传感器公司已形成系列化，主要产品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm，涵盖了对水、气、油等多种介质的测量。该产品因技术领先性已经荣获2010年度中国电子学会电子信息科学技术奖三等奖。
汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展，对MEMS传感器的各种新需求和基于该技术的创新不断涌现，MEMS传感器的市场机会逐步显现。昆山双桥传感器测控技术有限公司的基于MEMS技术的汽车压力传感器已批量应用于汽车电子产业。
