- 国产MEMS压力传感器正在进入高端应用市场
- 汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子对MEMS传感器需求大
在军事工程、化爆试验、石油勘采与试井、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中，需要不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力波形与幅值、有效值，要求所用压力传感器具有较高的固有频率、极短的上升时间和宽广优良的响应频带，以保证足够的动态测压精度。
随着测量技术的飞速发展，对传感器提出了更高的要求，尤其在高精度的流体动力学测试中，要求传感器具有良好的动态特性。为了不影响流场状态，提高测量的精度，还需压力传感器具有极小和极薄的外形，一般来讲，外径约为2 mm～8mm，或厚度2 mm～5mm，传感器的尺寸渐趋小型化。近二十年来，压力传感器行业明显加快了压阻式替代淘汰应变式、厚膜陶瓷式压力传感器的步伐，MEMS技术逐步成为产业化技术主流。
受自身技术条件限制， 国内大多数压力传感器企业多把国内外产硅MEMS OEM产品作为压力传感器的关键部件，组装后再行销售，进入行业的门槛较低，资金运转快。但对有高难度要求的高档传感器，企业既买不到相应的硅MEMS OEM产品，又不具备相应设计与特殊制作技术，因此基本无法进入这一细分市场。昆山双桥传感器测控技术有限公司充分利用其技术积累，从核心元件关键技术做起，基于MEMS微机械加工技术，自行研制的微型动态压阻压力传感器能确保力敏硅膜片有效尺寸更小，固有频率更高；此外，利用硅优良的弹性力学特性，尤其是极高的杨氏弹性模量，加之低的电桥内阻抗，不仅利于获得高频响，而且有低至亚微秒的上升时间及非常干净的幅频特性曲线，可广泛应用于要求传感器尺寸小、对测试流场影响小、动态特性好的空气动力学研究、风洞测控试验等高端应用领域。微型压力传感器产品在双桥传感器公司已形成系列化，主要产品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm，涵盖了对水、气、油等多种介质的测量。产品完全为公司自主设计和开发，具有独立的自主知识产权，表明国内企业在开发高、特、难、新压力传感器方面已经具有很强的技术实力。
汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展，对MEMS传感器的各种新需求和基于该技术的创新不断涌现，MEMS传感器的市场机会逐步显现。此前昆山双桥传感器测控技术有限公司的基于MEMS技术的汽车压力传感器早已批量应用于汽车电子产业。另据该公司透露，未来的2年～3年，通用压力传感器的智能化生产技术将成为产业的热点和焦点，为此，他们着重针对汽车压力传感器和特种传感器市场，制定了相应的产业化发展策略，为客户专制开发，在商业模式上采取蓝海战略，以高技术保证公司在细分市场上的成功。从昆山双桥的行动上可以看出，国产MEMS压力传感器产品正在向汽车电子及一些高端应用等市场渗透。
