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电容传感器的原理及应用
从能量转换的角度而言，电容变换器为无源变换器，需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。在有些条件下，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围极小，如果要求测量极小距离或位移时要有较高的分辨率，其他传感器很难做到实现高分辨率要求，在精密测量中所普遍使用的差动变压器传感器...
2008-10-11
电容传感器 稳定性 灵敏度 泰勒级数
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低频光纤光栅加速度传感器
本文设计了低频光纤光栅加速度传感器通过对其力学模型分析，建立了光纤光栅加速度传感器的数学模型，得到了传感器的加速度和光纤光栅波长变化间的关系．通过振动实验，得到了在不同阻尼下光纤光栅加速度计的幅频特性。
2008-10-10
光纤光栅 低频 加速度传感器
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传感器中的电压/电流、电压/频率变换的实现
在工业控制领域，检测传感器件起着越来越重要的作用，各种先进的传感器正在大量应用。本文介绍的两个转换电路所需费用低，且结构简单，调试方便，非常易于实现，并且经过矿用监测设备多次的实际现场应用，其对于国内一般的煤矿安全监测系统的接入信号的要求都能够很好地满足应用。
2008-10-10
传感器 电压/电流 电压/频率
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传感器信号调理电路
传感器信号不能直接转换为数字数据，在变换为数字数据之前必须进行调理。本文介绍了传感器信号调理电路的组成、性能、工作原理以及传感器和放大器匹配电路等。
2008-10-10
信号调理 传感器 放大器
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采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器
MEMS振荡器商用化的一个最大障碍是开发一种经济并足够纯净的密闭封装系统。本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺，以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。这些测量数据是目前为止得到的最稳定的MEMS振荡器数据。
2008-10-09
纯净 振荡 频率 稳定
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固态混合电势气体传感器的原理和应用
以混合电势响应为基础的固态高温气体传感器为各种还原性气体提供了一种简单快速并且低成本的原位在线测量。这些传感器响应机理因电极材料、电极微观形貌等不同而有所变化，主要分为混合电势与被测气体浓度呈对数关系或者线性关系两种类型。其响应行为取决于电极反应的Butler-Volmer动力学方程的具体...
2008-10-09
混合电势 氧化 还原 传感器
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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。本文研制了一种高性能、低成本的微型电容气象压力传感器，整个流程工艺简单标准，薄膜材料选择单晶硅，采用接触式结构，利用阳极键合形成真空腔，最后由KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜并由试验结...
2008-10-09
电容式压力传感器 敏感薄膜 KOH腐蚀
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表面横波生物传感器的灵敏度分析
近年来在生物检测研究方面，声表面波传感器因具有体积小、重量轻、性能稳定、价格便宜等优点受到广泛关注。本文将推导灵敏度、加工等方面对表面横波传感器灵敏度的影响，并进行相关分析。
2008-10-09
表面横波传感器 栅阵 生物检测
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MEMS固态风速风向传感器的设计与制作
本文介绍了基于MEMS的固态风速风向传感器的设计原理及软件模拟结果，并依据理论与模拟结果设计了工艺流程，对设计的悬梁式测风传感器进行了测量。
2008-10-08
MEMS固态风速风向传感器 ANSYS CFD 工艺制作
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